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產品技術特點產品參數 電網輸入的交流正弦電壓,通過L-C高壓變換器,轉換為交流正弦電流,經升壓,整流后成為高壓高壓直流電流源給沉積電場供電。 ●高壓硅整流器由高壓變壓器和高壓硅整流器組成,共同裝入一個方形金屬油箱內,并充入清潔干燥的變壓器油。交流輸入電壓由低壓絕緣套管接入,直流高電壓則由高壓絕緣套管引出。 ● 高壓高壓控制柜:由L-C高壓變換器輸出高壓電流源,并設有過壓保護和報警裝置。當變壓硅整流器工作于非正常狀態時,控制柜可進行自動保護并同時發出報警聲。 技術特點 ● 運行穩定,可靠性高,能長期保持沉積效率,能承受瞬態和穩態短路,當沉積電場由于某種原因產生火花放電時,由于電源輸出電流是“高壓”,電場中的電流不會增加,而電網輸入電流卻大大減少,僅為額定值的10%,確保了電源設備的安全。同時,由于“高壓”,使得放電通道自行消失,不過渡到弧光放電,保護了電暈線和陰陽極板。
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